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仪器简介

用于半导体器件的I-V曲线、C-V曲线、TFT的转移特性、输出特性等电学参数测试。

性能指标

在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范围内执行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量。在 1 kHz 至 5 MHz 频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量。先进的脉冲 IV 测量和超快 IV 测量，最低采样间隔为 5 ns（200 MSa/s）高达 40 V 的高压脉势，适用于非易失存储器测试。

应用范围

Keysight B1500A 半导体器件分析仪属于是德科技精密电流－电压分析仪系列，是一款能够提供 IV、CV、脉冲/动态 IV 等丰富功能的综合分析仪，旨在全面满足从基础到尖端应用的表征需求。B1500A 提供极其丰富的测量功能，支持器件、材料、半导体、有源/无源器件甚至几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试，并且具有卓越的测量可靠性和测量效率。

工艺图：