Kurt Lesker E-beam蒸发设备

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仪器简介

美国进口Kurt Lesker Lab-line E-beam蒸发设备, 单步工艺可连续蒸镀6种金属材料。


性能指标

腔体本底压力可达2E-8 Torr,蒸发速率0.1A/s~10A/s;膜厚均匀性±2%。可根据不同材料特性要求做调整。可以使用特殊夹具作业非标准尺寸的加工基片。


应用范围

电子束蒸发设备,主要用于蒸镀Ti、Pt、Au、Ni、Al、Pd、Ge、Cr等多种金属材料,蒸镀速度可调且稳定,可应用于lift-off工艺。


工艺图:


Liftoff 金属图形化

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玻璃基底光学器件镀膜

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