SEM（ ZEISS SIGMA HD）
仪器简介
SEM形貌分析设备
性能指标
分辨率：1.3nm (20 KV) ；加速电压：0.02-30KV ；探针电流：4 pA-20 nA ；放大倍数：10-1000 000X
应用范围
场发射扫描电子显微镜，SIGMA HD配有in-lens二次电子探测器的GEMINI镜筒，样品室二次电子探测器、背散射电子探测器和CCD摄像机等四种类型的探测器，样品台为五轴全自动控制，能够提供出色的分辨率和亮度，适用于样品形貌的清晰成像。具有高真空和可变压力模式，实现了分析型场发射扫描电镜的高清晰成像，并能够在低加速电压下（750V-3kV）和低探针电流下对样品成像。
工艺图：
