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湿法清洗台
湿法清洗台,具有溢流漂洗功能,按键控制进水、排水,全程电阻率监测。可进行酸碱湿法腐蚀,lift-off工艺去胶清洗,硅、二氧化硅、氮化硅等湿法刻蚀。