原子力显微镜利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力,从而达到检测的目的,具有原子级的分辨率。
主要技术指标
成像模式:接触模式、轻敲模式、相位模式、水平力模式、力调制模式;
分辨率:水平0.2nm,垂直0.01nm;
最大扫描范围:30um x 30um x 5um